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鹿儿岛工厂

鹿儿岛县姶良郡涌水町北方1770番地1
Tel : 0995-74-3611
Fax: 0995-74-3614

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晶圆尺寸 6 寸
产能 15,000 片/月
代工場主産品 制程工艺
(最小线宽尺寸)
主要相関設備 備注
CMOS IC 0.35 ㎛ 歩進式光刻機(KrF & i-line)
高能拡散植入機
CMP(W,SiO,Si)
HDP-CVD
DEEP RIE
PDK可適用0.35um CMOS IC
背面研磨
背面金属溅射
晶圆測試仪
MOSFET 0.20 ㎛
IGBT 0.60 ㎛
SiC 0.60 ㎛ 高温植入機
熱処理雜質活化
RIE
試制