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Key words         
SiC    Silicon carbide    Deal-Grove model 
Pyro-system   parabolic rate    Thermal oxidation 
dry oxidation     linear rate constant
        Pryogenic oxidation
关键词          
金刚砂   热氧化作用   迪尔格罗夫氧化模型 
热氧化   焦榈酚方法   线性速率常数
干氧化       抛物线速率常数 


Key words       
mobility   perturebation   transport coefficient
relaxation    conductivity   distribution of carries
interaction   scattering rate   Diac's delta function
electron    elaxation time    Fermi-Dirac atatistics
phonon   electromotive force   Theemal  equilibrium 
  Drift diffsion equation   transported quantity
  diffusion coefficient   coupling potential
    Liouville's theorem 
关键词      
热平衡   狄拉克δ函数   传递系数
缓和 声子   漂移扩散方程
摄动   刘维尔定理   电动势
电子   扩散系数   爱因斯坦关系式
相互电位   导电性   费密-狄拉克统计法
散射率   缓和时间   玻耳兹曼输运方程