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鹿児島工場

鹿児島県姶良郡湧水町北方1770番地1
Tel : 0995-74-3611
Fax: 0995-74-3614

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ウェハーサイズ 6 inch
生産能力 15,000 枚/月
主要製品 最小ルール 関連主要装置 その他
CMOS IC 0.35 ㎛ ステッパー(KrF,i線)
高エネルギーインプラ
CMP(W,SiO,Si)
HDP-CVD
DEEP RIE
0.35umCMOS IC用 PDK有
裏面研削
裏面スパッタ
ウエハーテスター
MOSFET 0.20 ㎛
IGBT 0.60 ㎛
SiC 0.60 ㎛ 高温インプラ
活性化アニール
RIE
Pre-production