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キーワード     Deal-Groveモデル     熱酸化     シリコン     Pyro-System
      Linear rate constant     ドライ酸化     カーバイド     Pyro酸化
    Parabolic rate constant      SiC          
                         
                     

キーワード     相互ポテンシャル     散乱レート     輸送係数     移動度
    Bolzmannの輸送方程式     フォノン     拡散係数     電子
      ドリフト拡散方程式     Fermi-Dirac統計     緩和時間     緩和
    Einsteinの関係式     Liouvilleの定理     電気伝導     摂動

キーワード     Shockley Read Hall モデル      発生・再結合      発生率 
      インパクトイオン化     電子雪崩現象     静電
    電気化学ポテンシャル     イオン化係数     再結合率
      直接遷移型半導体     非放射再結合     統計力学
    真正フェルミ準位     誘電緩和時間     非平衡
      表面再結合   接合破壊     ホットキャリア     デバイ長 

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